パルスガスバルブは取扱説明書を良く読んで使用してください。
関連する資料を以下に示します。
バラトロン----バラトロンコントローラー
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パルスバルブ--ベローズバルブ--フレキシブルチューブ--ガスシリンダー
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フレキシブルチューブ
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ターボ分子ポンプ--フォアライントラップ--ローターリーポンプ
総額：約100万円（バルブなどの価格は大ざっぱです。）
パルスバルブ |
パーカーハネフィン日本 |
1個 |
16万円 |
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パルスバルブ |
パーカーハネフィン日本 |
1台 |
48万円 |
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ベローズバルブ |
Nupro |
SS-4H-TW-V13 |
1個 |
3万円 |
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フレキシブル |
Cajon |
321-4-X-2FMR |
1個 |
1万円 |
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VCRクロス |
Cajon |
SS-4-VCR-CS |
1個 |
1万円 |
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VCR銅ガスケット |
Cajon |
CU-4-VCR-2 |
20個 |
150円 |
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変換フランジ |
VCR1/4メス-ICF70 |
1個 |
1万円 |
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変換フランジ |
CF70-34 |
1個 |
1万円 |
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バラトロン |
ベーカブル |
メスVCR1/4 |
1台 |
23万円 |
221、ケーブルも必要 |
バラトロン |
ベーカブル |
PDR-D-1 |
1台 |
9万円 |
自作すると3万円くらい。+/-15V電源とデジタルパネルメーターが必要 |
配管用ヒーター |
東京技術研究所 |
CRX-2、2m、
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１本 |
7千円 |
☆業者リスト：
パーカーハネフィン日本：TEL:03-5401-0702、FAX:03-5401-0703
アイリン真空：変換フランジ、バラトロン、ヒーターなどを安く納入する。
電子メールで問い合わせと注文を受け付ける。
ailin-va@cb3.so-net.or.jp
VCR部品は名古屋バルブフィッティングなど
☆パルスバルブは閉めた状態でも超高真空槽側へガスがすこしづつリークしますので、配管内の試料ガスの圧力は0.9Torr以下にすることが必要です。