| 刻線密度(球面鏡) | エネルギー領域 |
|---|---|
| 300 l/mm (M2) | 70 - 500 eV |
| 800 l/mm (M2) | 190 - 1200 eV |
| 800 l/mm (M1) | (500-) 620 - 1900 eV[610eV付近を除く] |
| 1200 l/mm (M1) | (800-) 970 - 1900 eV[950eV付近を除く] |

| 刻線密度(球面鏡) | 直線導入器目盛り | S2位置 |
|---|---|---|
| 300 l/mm (M2) | 99627.0 | 74.2mm |
| 800 l/mm (M2) | 99454.7 | 44.7mm |
| 800 l/mm (M1) | ||
| 1200 l/mm (M1) | 99540.9 | 44mm |
