ＰＦで“特殊ガス”とされるもの

物質科学第１・第２系化学薬品等取扱責任者：　北島　義典
5641(PHS:4279)
yoshinori.kitajima@kek.jp
２０００年　５月３１日更新

• 特殊材料ガス
  特殊材料ガスは、半導体製造等に用いられる、反応性が高く危険と思われるガスであって、以下の３９種類を言う。
  

  シラン系	モノシラン(SiH4)、ジシラン(Si2H6)、ジクロルシラン(SiH2Cl2)、三塩化シラン(SiHCl3)、 四塩化ケイ素(SiCl4)、四フッ化ケイ素(SiF4)
  ヒ素系	アルシン(AsH3)、三フッ化ヒ素(AsF3)、五フッ化ヒ素(AsF5)、三塩化ヒ素(AsCl3)、 五塩化ヒ素(AsCl5)
  リン系	ホスフィン(PH3)、三フッ化リン(PF3)、五フッ化リン(PF5)、三塩化リン(PCl3)、 五塩化リン(PCl5)、オキシ塩化リン(POCl3)
  ホウ素系	ジボラン(B2H6)、三フッ化ホウ素(BF3)、三塩化ホウ素(BCl3)、三臭化ホウ素(BBr3)
  金属水素化物	セレン化水素(H2Se)、モノゲルマン(GeH4)、テルル化水素(H2Te)、スチビン(SbH3)、 水素化スズ(SnH4)
  ハロゲン化物	三フッ化窒素(NF3)、四フッ化硫黄(SF4)、六フッ化タングステン(WF6)、六フッ化モリブデン(MoF6)、 四塩化ゲルマニウム(GeCl4)、四塩化スズ(SnCl4)、五塩化アンチモン(SbCl5)、 六塩化タングステン(WCl6)、五塩化モリブデン(MoCl5)
  金属アルキル化物	トリアルキルガリウム(Ga(CH3)3, Ga(C2H5)3等)、トリアルキルインジウム(In(CH3)3, In(C2H5)3等)

  
  モノシラン(SiH₄)、ジシラン(Si₂H₆)、アルシン(AsH₃)、ホスフィン(PH₃)、ジボラン(B₂H₆)、セレン化水素(H₂Se)、モノゲルマン(GeH₄)の７種類は、高圧状態（1MPa［〜１０気圧］以上）での持ち込みが禁止されている（「特殊高圧ガス」と呼ぶ）。
  ヒ素系、ホスフィン(PH₃)、三フッ化リン(PF₃)、三塩化リン(PCl₃)、五塩化リン(PCl₅)、オキシ塩化リン(POCl₃)、ジボラン(B₂H₆)、三フッ化ホウ素(BF₃)、三塩化ホウ素(BCl₃)、セレン化水素(H₂Se)、四フッ化硫黄(SF₄)等、毒物・劇物に指定されているものもある（→毒物・劇物のリスト）。
  
  
• 毒性ガス
  毒性ガスとは、有害なガスであって、許容濃度が200ppm以下のものを言い、下表のものが含まれる。
  

  アクリロニトリル(C2H3CN)、亜硫酸ガス(SO2)、アンモニア(NH3)、一酸化炭素(CO)、塩化水素(HCl)、塩素(Cl2)、 クロルメチル(CH3Cl)、シアン化水素(HCN)、二硫化炭素(CS2)、フッ素(F2)、ブロムメチル(CH3Br)、 ベンゼン(C6H6)、ホスゲン(COCl2)、硫化水素(H2S)

  
  この表は、ごく一部の物質を示したに過ぎない。また、シアン化水素(HCN)は毒物、アクリロニトリル(C₂H₃CN)、アンモニア(NH₃)、塩化水素(HCl)、塩素(Cl₂)、二硫化炭素(CS₂)、ブロムメチル(CH₃Br)等は劇物に指定されている（→毒物・劇物のリスト）。
  
  
• 可燃性ガス
  可燃性ガスとは、空気と混合した場合の爆発限界の下限が10%以下のもの及び爆発限界の上限と下限の差が20%以上のものを言い、下表のものが含まれる。
  

  アクリロニトリル(C2H3CN)、アセチレン(C2H2)、アンモニア(NH3)、一酸化炭素(CO)、エチレン(C2H4)、 クロルメチル(CH3Cl)、シアン化水素(HCN)、シクロプロパン(C3H6)、水素(H2)、二硫化炭素(CS2)、 ブタジエン(C4H6)、ブタン(C4H10)、プロパン(C3H8)、プロピレン(C3H6)、ブロムメチル(CH3Br)、 ベンゼン(C6H6)、メタン(CH4)、メチルエーテル((CH3)2O)、硫化水素(H2S)

  
  この表は、ごく一部の物質を示したに過ぎない。また、シアン化水素(HCN)は毒物、アクリロニトリル(C₂H₃CN)、アンモニア(NH₃)、二硫化炭素(CS₂)、ブロムメチル(CH₃Br)等は劇物に指定されている（→毒物・劇物のリスト）。