Ｍ１／Ｍ２切り替え／調整
・Ｍ１／Ｍ２の切り替えは、Ｍ１を上下に抜き挿しして行う（Ｍ２はそのままで、Ｍ１を挿入すればビームはＭ１で反射される）。同時に、チェンバー全体を前後に並進移動させる。
・駆動は、いずれもパルスモータによるが、通常はPC上の制御プログラム［G&M1/M2 Select］から行えるようになっている。
・Ｍ１利用の際に、回折格子の回転が特定のところ（800 l/mmの場合610 eV付近）で、Ｓ１からの反射光がＭ２に当たって反射する０次光が抜けるので注意が必要である。
・Ｍ１／Ｍ２とも、振り角（pitch）及びあおり（roll）の調整を行うことができるが、全て“初期調整済み”なので、通常は動かしてはならない。
＜以下は参考情報＞
・パルスモータコントローラは、ステーションコントローラのラック内のPM4C-05-1であり、CHANNEL BがＭ１の上下（抜き=CCW、挿し=CW）で、移動量は0.5μ/pulseである。Ｍ１挿入時の位置は、目盛りの読みで22.3mm、ノギスで測って40.9mmである。Ｍ１を抜いた時の位置を目盛りで5.3mmとすると、挿入時の移動量は17.0mmであり、それに対するパルス数は34000である。なお、高速にするとパルスの抜けが起こるので、低速で移動すること。現在のところ、CCWのlimitが不調であるので、移動の際にはPM4C-05-1の裏面のlimitをDISABLEにして移動させる。この時、絶対に移動しすぎないように注意すること。
・チェンバーの並進は、PM4C-05-1のCHANNEL Cで行い、マグネスケールで読みとる。CWで上流に、CCWで下流に移動する。移動量は、0.5μ/pulseである。Ｍ１利用の時は、上流（CW）側limitまでチャンバーを移動させる。Ｍ２利用の場合は、そこから+28.705mm下流側であるので、パルス数では57410ということになる。並進は高速で移動して問題ない。
Last modified: Oct. 13, 2011