軟X線領域では、空気による吸収も大きくなるため、真空チェンバーを利用します。簡単なものはPFで用意できますので、特別な配置等を必要とする場合以外は、利用者側で準備する必要はありません。
エネルギー領域にもよりますが、高真空ビームラインとの間に窓や差動排気系を設置することができれば、それほどの高真空は必要としません。
例えば、1.8keV以上の測定を行うBL-11Bなどでは、10-1 Pa程度まで引ければ充分です。
例えば、1.6keV以下の測定を行うBL-11Aなどでは、10-4 Pa程度の真空度が望まれます。
軟X線領域では、吸収が非常に大きくなるため、透過法に適する薄い試料（自立薄膜など）を準備できる場合以外は、透過法に代わる電子収量法や蛍光X線収量法を用います。
電子収量法に用いる、電子検出器（阻止電場用メッシュ付きマイクロチャンネルプレート）やX線検出器（Silicon Drift Detector）を利用することが可能です。
いくつかの測定例を示します（全て全電子収量法で測定したものです）。
図１. BL-11AにおけるXANES スペクトル測定例（K3[Fe(CN)6]およびK4[Fe(CN)6]（いずれも粉末）のFe L3吸収端）。
図２. BL-11AにおけるXANES スペクトル測定例（アルミナ粉末のAl Ｋ吸収端＝エネルギー軸は未較正）。
図３. BL-11BにおけるEXAFS スペクトル測定例（SiウェハのSi Ｋ吸収端［分光結晶InSb(111)利用］）。
図４. BL-11BにおけるXANES スペクトル測定例（BaTiO3粉末のTi Ｋ吸収端［分光結晶Si(220)利用］）。
