BL-12A 軟X線2m斜入射分光器・光学素子評価装置
担当者:柳下 明
5660(PHS:4449)
akira.yagishita@kek.jp
図3 後置鏡のドレインカレントでモニターした出力スペクトル 測定条件は,回折格子:600 本/mm ,スリット幅:50 μm ,後置鏡のコート材: Au ,入射角 2°(斜入射)であった. |
3.付属装置
図4 光学素子評価装置の概略図 真空槽全体が回転軸を光軸に一致させて 90°回転するので偏光を選ぶことができる.1) |
図5 Sc/Cr 多層膜偏光子を用いて測定した 400 eV における直線偏光度の観測角依存性.
M0のあおり角で観測角を変化させた.この測定結果により,直線偏光度が 0.998 以上に光軸調整されている. |
図6 Mo/B4C 多層膜でコーティングした回折格子の s 偏光に対する回折効率
θは入射角を示し,グラフの横軸は出射角−θの値を示す.ただし入射角,出射角とも斜入射側から測った角度で表示している.p 偏光では2桁以上回折効率が低いので,この多層膜回折格子は偏光フィルターの機能を合わせ持つ.2) |
6.その他
Last modified: 2005-05-09