PF実験ホール“特殊ガス”検知警報システム

放射光科学第1・第2系化学薬品等取扱責任者: 北島 義典
5641(PHS:4279)
yoshinori.kitajima@kek.jp
2006年 4月19日更新



検知器名検知ガス発報濃度許容濃度その他、検知されるガスの例
H2S硫化水素(H2S)10ppm10ppmHCl, Cl2
CO一酸化炭素(CO)25ppm25ppmSiH4, H2S, SO2
F2<休止中>フッ素(F2)1ppm1ppmCl2
NO2二酸化窒素(NO2)3ppm3ppmCl2
NO<休止中>一酸化窒素(NO)25ppm25ppmNO2
SiH4
水素化物系ガス
モノシラン(SiH4)3.75ppm5ppmCl2, HCl, NH3, SO2, H2S
ホスフィン(PH3)0.125ppm0.3ppm
アルシン(AsH3)0.05ppm0.05ppm
ジボラン(B2H6)0.075ppm0.1ppm
ジシラン(Si2H6)1.25ppm5ppm
NH3<休止中>アンモニア(NH3)25ppm25ppmHCl, Cl2
Gen.Acid
酸性ガス
フッ化水素(HF)
三フッ化ホウ素(BF3)
3ppm3ppmF2, HBr
塩素(Cl2)
臭素(Br2)
0.33ppm0.5ppm
塩化水素(HCl)
三塩化リン(PCl3)
三塩化ホウ素(BCl3)
1.66ppm5ppm
二酸化硫黄(SO2)0.33ppm5ppm
HBr<休止中>臭化水素(HBr)3ppm3ppmHCl
H.C.
可燃性ガス
メタン(CH4)
アセチレン(C2H2)
エチレン(C2H4)
エタン(C2H6)
水素(H2)
25%LEL