放射光科学第1・第2系化学薬品等取扱責任者: 北島 義典
5641(PHS:4279)
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2006年 4月19日更新
検知器名 | 検知ガス | 発報濃度 | 許容濃度 | その他、検知されるガスの例 |
---|---|---|---|---|
H2S | 硫化水素(H2S) | 10ppm | 10ppm | HCl, Cl2 |
CO | 一酸化炭素(CO) | 25ppm | 25ppm | SiH4, H2S, SO2 |
F2<休止中> | フッ素(F2) | 1ppm | 1ppm | Cl2 |
NO2 | 二酸化窒素(NO2) | 3ppm | 3ppm | Cl2 |
NO<休止中> | 一酸化窒素(NO) | 25ppm | 25ppm | NO2 |
SiH4 水素化物系ガス | モノシラン(SiH4) | 3.75ppm | 5ppm | Cl2, HCl, NH3, SO2, H2S |
ホスフィン(PH3) | 0.125ppm | 0.3ppm | ||
アルシン(AsH3) | 0.05ppm | 0.05ppm | ||
ジボラン(B2H6) | 0.075ppm | 0.1ppm | ||
ジシラン(Si2H6) | 1.25ppm | 5ppm | ||
NH3<休止中> | アンモニア(NH3) | 25ppm | 25ppm | HCl, Cl2 |
Gen.Acid 酸性ガス | フッ化水素(HF) 三フッ化ホウ素(BF3) | 3ppm | 3ppm | F2, HBr |
塩素(Cl2) 臭素(Br2) | 0.33ppm | 0.5ppm | ||
塩化水素(HCl) 三塩化リン(PCl3) 三塩化ホウ素(BCl3) | 1.66ppm | 5ppm | ||
二酸化硫黄(SO2) | 0.33ppm | 5ppm | ||
HBr<休止中> | 臭化水素(HBr) | 3ppm | 3ppm | HCl |
H.C. 可燃性ガス | メタン(CH4) アセチレン(C2H2) エチレン(C2H4) エタン(C2H6) 水素(H2) | 25%LEL |