先端研究施設共用イノベーション創出事業(産業戦略利用)講習会
「放射光を用いた結晶評価の新展開 〜X線トポグラフィーによる半導体評価を中心として〜」
開催のお知らせ

-2008年11月27日-



趣旨: 放射光は各種結晶材料の内部構造や表面・界面構造を評価する上で大変有効なプローブです。近年、放射光を用いた回折イメージング分野(トポグラフィー等)の研究は、次世代半導体やパワーデバイス材料などの研究の進展により、新たな高まりを見せています。この放射光利用の結晶材料・デバイス評価と産業応用の最新の状況を、当該分野の第一線で活躍している講師の方々にご紹介いただき、また、今後の展望について語っていただきます。
 講習会として、すでにこの分野の研究を経験されている人はもちろん、これから新たに放射光を利用しようと考えている人にも有益なガイダンスとなるよう、プログラムを用意しました。また、講義の後は、放射光利用実験の実際について見学(場合によって実習も)していただく予定です。

 

会期: 2008年11月27日(木): 9:30〜17:00

会場:
高エネルギー加速器研究機構 4号館2階輪講室1(茨城県つくば市大穂1-1)(施設案内・マップはこちらをご覧ください。)

参加費:無料

オーガナイザー: 平野 馨一 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
           吉村 順一 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
           阿刀田伸史 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所
           野村 昌治 高エネルギー加速器研究機構物質構造科学研究所

交通:
 車  常磐自動車道「桜土浦」インターより東大通りを筑波山方面へ20分
 電車 ○JR常磐線「ひたち野うしく駅」よりバスで「つくばセンター」へ25分、
     「つくばセンター」より「高エネルギー加速器研究機構」へバスで20分
     ○つくばエクスプレス「つくば駅」下車、隣接の「つくばセンター」より「高エネルギー加速器研究機構」へバスで20分。
       つくばエクスプレス時刻表
       つくば駅・KEK間のバス時刻表 
       つくばエクスプレスのホームページ
 バス  東京駅より「つくば号」で「つくばセンター」下車(約1時間)、
     「つくばセンター」より「高エネルギー加速器研究機構」へバスで20分
 詳しくは「KEKまでの交通」をご覧下さい。

参加申込み:下記の参加申込みフォームよりお申込みください(当日まで受け付けます)。
          宿舎利用(シングル・バストレイ無し/1500円)をご希望の方は11月14日(金)までにお申し込み下さい。
         (実験中のため、部屋はシングル・バストイレ無しとなります。どうぞ予めご了承下さい。)
         KEK共同利用者宿泊施設(ドミトリー)
    
         

プログラム

11月27日(木)
09:30- 受付開始
10:00-10:05 挨拶(KEK-PF・野村昌治)
10:05-10:30 「先端研究施設共用イノベーション創出事業の説明」(KEK-PF・阿刀田伸史)
10:30-11:00 「Photon Factory及びBL-15Cの紹介」(KEK-PF・平野馨一)
11:00-11:45 「X線トポグラフィーの基礎」(KEK-PF・吉村順一)
11:45-13:00 昼食
13:00-13:45 「半導体表面界面のひずみと応力」(名古屋大学大学院工学研究科量子工学専攻・秋本晃一)
13:45-14:30 「パワーデバイス材料研究におけるX線トポグラフの利用」(産業技術総合研究所エレクトロニクス研究部門・山口博隆)
14:30-14:40 休憩
14:40-15:25 「半導体薄膜からのX線回折とトポグラフィー」(大阪大学大学院工学研究科生命先端工学専攻・志村考功)
15:25-15:45 「九州シンクロトロン光研究センターにおけるX線トポグラフィの現状」 (九州シンクロトロン光研究センター・隅谷和嗣)
 

PF見学(トポグラフ像のX線CCDカメラによる観察のデモンストレーション等)後、解散


問い合わせ先: PF秘書室 高橋良美 Email: tyoshimi@post.kek.jp
                        Tel: 029-864-5196


2008-11-11 by pfw3-admin@pfiqst.kek.jp