-プログラム-

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
12月13日（火） 10:00-17:30
時刻　Time 講演タイトル 　 Title
 講演者 　 Speaker　（敬称略）
09:30 受付開始  
10:00-10:10 開会挨拶 石原 直 (東京大学)
Sunao Ishihara (The U. of Tokyo)
基調講演・招待講演　　10:10-12:00　　　 座長: 石原 直 (東京大学)
10:10-10:50 -基調講演(Keynote)-
「Big Data時代のCognitive Computingに向けたNeuromorphic Device」
”Neuromorphic Device for Cognitive Computing in the Big Data era”　
山道 新太郎 (日本アイ・ビー・エム)
Shintaro Yamamichi (IBM Japan)
10:50-11:25 -招待講演(Invited)-
「半導体集積回路の微細化とEUVリソグラフィー」
“Scaling of Semiconductor Integrated Circuits and EUV Lithography”
石内 秀美 (先端ナノプロセス基盤開発センター)
Hidemi Ishiuchi (EIDEC)
11:25-12:00 -招待講演(Invited)-
"EUV Lithography Industrialization and future outlook"
宮崎 順二 (エーエスエムエル・ジャパン)
Junji Miyazaki (ASML Japan)
－　昼食　－【12:00-13:15】
一般講演　　　　13:15-15：20　　　　座長：木下 博雄 (兵庫県立大), 羽島 良一 (QST)
13:15-13:40 「自由電子レーザー"SACLA"とその基礎」
"Free-electron laser SACLA and its basics"		 大竹 雄次 (理化学研究所)
Yuji Otake (RIKEN)
13:40-14:05 「ERLを用いた高出力EUV-FEL光源」
"ERL-Based High-Power EUV-FEL Source" 		中村 典雄 (高エネルギー加速器研究機構)
Norio Nakamura (KEK)
14:05-14:30 「高強度EUV光源用高耐久性EUV多層膜ミラーの開発」
"Development of damageless EUV multilayer mirrors for high intensity EUV sources" 		市丸 智 (NTTアドバンステクノロジ)
Satoshi Ichimaru (NTT Advanced Technology)
14:30-14:55 「半導体量産用250W LPP-EUV光源開発の現状と将来」
"250W LPP-EUV Light Source Development for Semiconductor HVM"		 山崎 卓 (ギガフォトン)
Taku Yamazaki (Gigaphoton)
14:55-15:20 「加速器の応用　－　基礎科学から一般産業へ」
"Applications of Accelerators - from Basic Science to Industrial Use" 		佐藤 潔和 (東芝)
Kiyokazu Sato (Toshiba)
15:20-15:45 -招待講演(Invited)-
"EUV free-electron laser requirements and considerations for semiconductor manufacturing"
Erik Hosler (GLOBALFOUNDRIES)
－　コーヒーブレイク　－【15:45-16:15】
パネルディスカッション　　16：15-17：25　　　
パネルディスカッション「 ～ EUV-FEL光源の実現に向けて ～ 」 Panel Discussion " - To realize EUV-FEL light source- "

  • パネリスト： 内山 貴之 (東芝), 大竹 雄次 (理研), 中村 典雄 (KEK), 市丸 智 (NTT AT), 山崎 卓 (ギガフォトン)
    Panelists： Takayuki Uchiyama (Toshiba), Yuji Otake (RIKEN), Norio Nakamura (KEK), Satoshi Ichimaru (NTT AT), Taku Yamazaki (Gigaphoton)
  • モデレータ ：岡崎 信次(ギガフォトン)、河田 洋(KEK)
    Moderator ：Shinji Okazaki (Gigaphoton), Hiroshi Kawata (KEK)
17:25-17:30 閉会挨拶　 神谷 幸秀 (高エネルギー加速器研究機構)
Yukihide Kamiya (KEK)
17:30 閉会