-プログラム-

12月11日（火）
時間 講演タイトル 　
 講演者 　（敬称略）
11:30 準備開始  
12:30 開場  
13:00-13:10　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 司会: 河田　洋（KEK）
13:00-13:10 開会挨拶 石原 直 (東京大学)
13:10-14:30　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 座長: 鷲尾 方一（早稲田大学）
13:10-13:50 -招待講演-
「EUVLの量産化を迎えるに当たって　−EUVL事始めから今後の展望に関して−」
木下 博雄 (兵庫県立大学)
13:50-14:30 -招待講演-
「超伝導空洞によるエネルギー回収型加速器 "Compact ERL"の開発現状とその応用利用」
阪井 寛志 (KEK)
－　コーヒーブレイク 【14:30-15:00】　－
15:00-16:00　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　座長：田中 聡（EIDEC）
15:00-15:30 「高出力EUV光源に搭載された集光鏡の寿命特性実験の進捗について」
溝口 計 (ギガフォトン（株）)
15:30-16:00 「多層膜光学系のFEL光照射による耐性について」
市丸 智 (NTT-AT)
畑山 雅俊 (NTT-AT)
16:00-17:05　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 座長：河田 洋（KEK）
16:00-16:30 「超伝導技術の工業製品への応用と今後の展望」
仙入 克也 (三菱重工機械システム)
16:30-17:00 「EUV (Extreme Ultra Violet)リソグラフィーの現状と将来展望」
 石内 秀美 ((株)先端ナノプロセス基盤開発センター)
17:00 閉会