-プログラム-

12月11日(火)
時間 講演タイトル  
講演者  (敬称略)
11:30 準備開始  
12:30 開場  
13:00-13:10                                  司会: 河田 洋(KEK)
13:00-13:10 開会挨拶 石原 直 (東京大学)
13:10-14:30                                  座長: 鷲尾 方一(早稲田大学)
13:10-13:50 -招待講演-
「EUVLの量産化を迎えるに当たって −EUVL事始めから今後の展望に関して−」


木下 博雄 (兵庫県立大学)
13:50-14:30 -招待講演-
「超伝導空洞によるエネルギー回収型加速器 "Compact ERL"の開発現状とその応用利用」

阪井 寛志 (KEK)
- コーヒーブレイク 【14:30-15:00】 -
15:00-16:00                                 座長:田中 聡(EIDEC)
15:00-15:30 「高出力EUV光源に搭載された集光鏡の寿命特性実験の進捗について」
溝口 計 (ギガフォトン(株))
15:30-16:00 「多層膜光学系のFEL光照射による耐性について」
市丸 智 (NTT-AT)
畑山 雅俊 (NTT-AT)
16:00-17:05                                 座長:河田 洋(KEK)
16:00-16:30 「超伝導技術の工業製品への応用と今後の展望」
仙入 克也 (三菱重工機械システム)
16:30-17:00 「EUV (Extreme Ultra Violet)リソグラフィーの現状と将来展望」
石内 秀美 ((株)先端ナノプロセス基盤開発センター)
17:00 閉会