-Program-

12月11日（火）
Time Title　
 Speaker 　
11:30 Start accepting  
12:30 Opening  
13:00-13:10　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Chairperson: Hiroshi Kawata（KEK）
13:00-13:10 Opening address Sunao Ishihara (The Univ. of Tokyo)
13:00-13:10　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 Chairperson: Masakazu Washio（Waseda Univ.）
13:10-13:50 -Invited-
”Aiming at the massproduction by EUVL　~From the beginning to the future prospect~”
Hiroo Kinoshita (Univ. of Hyogo)
13:50-14:30 -Invited-
"Development of "Compact ERL (cERL)" accellerator based on Superconducting cavity technology and its application by using cERL"
Hiroshi Sakai (KEK)
－　Coffee break 【14:30-15:00】　－
15:00-16:00　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Chairperson：Satoshi Tanaka（EIDEC）
15:00-15:30 "Status Updates for High Power LPP-EUV Source
with Long Collector Mirror Lifetime"
Hakaru Mizoguchi (Gigaphoton Inc. )
15:30-16:00 "FEL irradiation tolerance of multilayer optical system"
 Satoshi Ichimaru (NTT-AT)
Masatoshi Hatayama (NTT-AT)
16:00-17:05　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　Chairperson：Hiroshi Kawata（KEK）
16:00-16:30 "Consumer Applications of Superconducting Technology and Future Prospects "
 Katsuya Sennyu (Mitsubishi Heavy Industries Machinery Systems, Ltd.)
16:30-17:00 "Present Status and Future Prospects of EUV Lithography"
 Hidemi Ishiuchi (EIDEC)
17:00 Closing