-プログラム-

  *発表資料はワークショップ後に掲載いたします。(掲載許可済みの資料のみ)                   
12月12日(火)
時間 講演タイトル  
講演者  (敬称略)
09:30 受付開始  
10:00-10:10 開会挨拶
石原 直 (東京大学)
10:10-12:10                                  座長: 石内秀美(EIDEC)
10:10-10:50 -招待講演-
"EUV industrialization for HVM and future outlook"

Michael Lercel (ASML)
10:50-11:30 -招待講演-
「SACLAでのX線レーザープラズマ増幅実験とEUV-FELへの応用可能性」

石川 哲也 (理化学研究所)
11:30-12:10 -招待講演-
「EUV微細加工技術に向けたSXFELと物質・材料の相互作用に関する研究」

錦野 将元 (QST)
- 昼食 【12:10-13:30】 -
13:30-14:45                                 座長:羽島良一(QST)
13:30-13:55 「半導体リソグラフィーのためのEUV-FEL光源」 中村 典雄 (KEK)
13:55-14:20 「加速器技術ー超伝導高周波空洞」
古屋 貴章 (KEK)
14:20-14:45 「FELが明らかにする固体のEUV領域における非線形光学応答」
平田 靖透 (東京大学)
- コーヒーブレイク 【14:45-15:15】 -
15:15-16:30                                 座長:鷲尾方一(早稲田大学)
15:15-15:40 「半導体量産用高出力光源の集光鏡の寿命特性」
溝口 計 (ギガフォトン)
15:40-16:05 「三菱重工機械システムにおける超伝導加速器への取り組み」 原 博史 (三菱重工機械システム)
16:05-16:30 「東芝における加速器の技術展望」
平田 寛 (東芝エネルギーシステムズ)
16:30-16:50 -総合議論- 
        今後に向けて(開発計画概要および全体議論)              河田 洋 (KEK)
16:50 閉会の辞
岡田 武(産業技術総合研究所)
16:55 散会